摻磷乳膠源

摻磷乳膠源 (半導體芯片擴散摻雜源) 新材料

摻磷乳膠源簡介

摻磷乳膠源新材料產品，是專為二極管制造而研制的創新發明成果，主要應用于半導體芯片擴散的新材料：榮獲第十六屆中國科學家論壇2019中國科技創新發明成果獎，榮獲2019(第五屆)華尊獎 中國商界十大行業創新企業：2020年6月獲國家知識產權局授權發明專利；

應用范圍：半導體芯片擴散摻雜源。

質量效果：摻磷乳膠源新材料經客戶十多年使用，用戶反映效果良好，擴散結果系數相對集中，片子結深均勻，磷花較細、硅片表面清潔、厚度均勻硅晶格保持完整、無合金點；擴散后器件表面清潔干燥，不會損害硅的表面有利于光刻。

優點：設備簡單、工序少、一步工藝即可完成擴散，源濃度可以在較大范圍內調節、基本無毒雜質析出等，比目前常用的液態源、固態源具有更多的優越性，基本無毒無氣味更環保,比常規工藝更簡便、穩定、可靠、安全；同時擴散中又不受氣流影響，在同一爐中不但同一片大園片上一致性好，而且片間均勻性也很好，其結果重復性也相當好。

操作工藝：

1. ? ? 采用涂布法涂源：采用中心自轉式涂佈機。開動馬達啟動涂佈機，使硅片涂膠吸附盤高速旋轉，轉速約3000-4000轉 /分，將清潔的硅片放在涂膠吸附盤上，用真空吸附法吸住片子，用筆刷將源涂在硅片上，讓源佈滿整個硅片。涂源時要注意：使用時先將源搖勻

（不用時要用保鮮膜密封好存儲冷藏柜），源量要均勻佈滿整個硅片表面，涂源的涂膠盤轉動要平穩，不可偏心。涂源量的多少、涂膠盤的轉速、涂膠時間等等均對源膜厚有影響。為保證產品參數一致性，必須嚴格掌握好涂源條件，有條件的話操作者最好固定；整個涂源

過程必須在凈化環境下進行，相對濕度 必須小于40%。

2. ? ? 預烘：目的是去除乳膠膜中過量的溶劑，增加膜和硅片的粘附性。預烘溫度200°C 左右。將插好片的石英舟放在溫度已升到所需值的擴散石英管口，時間30分鐘 左右。

3.?擴散：預烘后即可將片子推入恒溫區中進行擴散，擴散溫度和時間磷擴→1220℃/3.5H(R口系數0.19-0.20之間)。

使用和貯藏注意事項：

1、遠離火種、熱源。包裝必須密封，切勿受潮。應與易燃、可燃物，堿類等分開存放。防止包裝及容器損壞。雨天不宜運輸。

2、用多少，倒多少。因源易揮發，要迅速涂片，原裝瓶蓋子蓋好。

3、磷源要放2~5度冰箱保存，千萬不可靠冰箱壁放。

4、使用本品操作時注意手防護：戴防毒物滲透手套。

保質期：60天

包裝：紙箱內置泡沫箱，每箱10瓶裝（10L)，塑料瓶裝：1L凈液。

發明專利證書：證書號第3850860號 ? 產品專利號：ZL ?2018 ?l ?0555900.0

市場反饋：經使用單位檢測報告數據反饋對比：

國產磷紙

擴散源名稱 ? ? ? ? ? ? ? 標準 ? ? ? ? ? 擴散條件 ? ? ? ? ?結果

磷擴散后的方塊系數 ? 0.17±0.05 ? ? ? ?1240℃.5H ? ? ?0.201-0.212

硼擴散后磷面系數 ? ? 0.085±0.01 ? ? ? 1263.29H ? ? ? 0.095-0.112

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美國進口磷紙

擴散源名稱 ? ? ? ? ? ? ? 標準 ? ? ? ? ? 擴散條件 ? ? ? ? ?結果

磷擴散后的方塊系數 ? ?0.185±0.005 ? ? 1200℃.6H ? ? ?0.181-0.192

硼擴散后磷面系數 ? ? ?0.080±0.01 ? ? ?1260℃.46H ? ? ? ? ?0.078-0.084

??摻磷乳膠源

擴散源名稱 ? ? ? ? ? ? ? 標準 ? ? ? ? ? 擴散條件 ? ? ? ? ?結果

磷擴散后的方塊系數 ? ?0.185±0.005 ? ? 1200℃.6H ? ? ?0.181-0.195

硼擴散后磷面系數 ? ? ?0.080±0.01 ? ? ?1260℃.46H ? ? ? ? ?0.078-0.084

GPP點測良率99.3%, 封裝電性:VB ≥1100V、 VF:≤0.98V、 ?TRR:≥1000ns

綜上反饋的數據比對證明，使用摻磷乳膠源與使用美國進口磷紙的結果質量無太大區別，并且優于國產磷紙；能夠滿足生產質量要求，摻磷乳膠源作為半導體芯片擴散新材料，逐漸受到生產廠家重視和認可接受，并被推廣應用。

價格優勢：

經過核算：使用摻磷乳膠源（半導體芯片擴散）新材料，每一片硅片涂源成本在0.1~0.2元左右，而使用美國進口磷紙作為擴散材料，每一片硅片涂源成本在2-3元之間甚至更高；使用國產磷紙作為擴散材料，每一片硅片涂源成本在1-2元之間；通過比對使用摻磷乳膠源作為擴散材料，極其明顯地顯現出價格優勢，極大地降低了企業生產成本；本產品己受到越來越多的企業的接納。

目前客戶分佈：江蘇、浙江、山東、四川

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檢測報告

摻磷乳膠源

金屬離子檢測數據

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重金屬(以Pb計)?

銅 ≤..................................................................................................0.0001%?

鐵 ≤..................................................................................................0.0001%?

鎳 ≤................................................................................................ .0.0005%?

鉻 ≤............................................................................................... ..0.0004%

砷 ≤............................................................................................... ..0.009%

水分 ≤.......................................................................................... ...0.06%

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摻磷乳膠源說明書

產品名稱：P227摻磷乳膠源

別名：磷源、乳膠源

性狀：無色透明液體，稍有氣味。有刺激性 具腐蝕易燃。

主要原料：硅酸乙酯 五氧化二磷

包裝方法：螺紋口1000ML塑料瓶

有效期：60天（2~5度冰箱保存）

推薦用途：半導體二極管、硅片、太陽能芯片磷擴散用。

限制用途：不可作為藥品、食品、家庭或其他用途。

生產商：上海美墅化學品有限公司

地址：上海市真陳路1085號1301室

注意事項：

危險信息：易燃、腐蝕液體 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?

預防措施：遠離火花、明火，禁止煙火

急救措施：

皮膚接觸：盡快用軟紙或棉花等擦去毒物，用肥皂水和清水徹底沖洗皮膚或用3%碳酸氫鈉液浸泡。然后用水徹底沖洗。如有不適感，就醫。

眼睛接觸：盡快用軟紙或棉花等擦去毒物，分開眼瞼，用流動清水或生理鹽水沖洗。如有不適感，就醫。

吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。必要時進行人工呼吸。就醫。如果呼吸困難，給予吸氧。如果患者食入或吸入該物質不要用口對口進行人工呼吸，可用單向閥小型呼吸器或其他適當的醫療呼吸器。

食入：誤服者立即漱口，給飲牛奶或蛋清。禁止催吐。如有不適感，就醫。?

消防措施：

滅火方法：砂土、干粉。泡沫或二氧化碳滅火劑滅火。禁止用水。如果該物質或被污染的流體進入水路，通知有潛在水體污染的下游用戶，通知地方衛生、消防官員和污染控制部門。

避免使用直流水滅火，直流水可能導致可燃性液體的飛濺，使火勢擴散。消除所有點火源。

滅火注意事項及防護措施：

消防人員須佩戴攜氣式呼吸器，穿全身消防服，在上風向滅火。

隔離事故現場，禁止無關人員進入。收容和處理消防水，防止污染環境。

泄漏應急處理

隔離泄漏污染區，周圍設警告標志，不要直接接觸泄漏物，勿使泄漏物與可燃物質（木材、紙、油等）接觸，禁止向泄漏物直接噴水，更不要讓水進入包裝容器內。小心掃起，以少量加入大量水中，調節至中性，再放入廢水系統。如果大量泄漏，在技術人員指導下清除。

禁止接觸或跨越泄漏物。

作業時使用的所有設備應接地。

盡可能切斷泄漏源。

環境保護措施：收容泄漏物，避免污染環境。防止泄漏物進入下水道、地表水和地下水。泄漏化學品的收容、清除方法及所使用的處置材料：小量泄漏：盡可能將泄漏液體收集在可密閉的容器中。用沙土、活性炭或其它惰性材料吸收，并轉移至安全場所。禁止沖入下水道。

使用和貯藏注意事項：

1、遠離火種、熱源。包裝必須密封，切勿受潮。應與易燃、可燃物，堿類等分開存放。防止包裝及容器損壞。雨天不宜運輸。

2、用多少，倒多少。因源易揮發，要迅速涂片，原裝瓶蓋子蓋好。

3、磷源要放2~5度冰箱保存，千萬不可靠冰箱壁放。

4、使用本品操作時注意手防護：戴防毒物滲透手套。